개요

FOUP 반송 및 저장을 관리하며, 이종 OHT 및 작업자간 접점 기능 수행

특징

- Optimizing Capacity (FOUP)
. User 요청 사항에 맞춤형 공급 : 20EA ~ 400EA
- 반송 대상 (FOUP)
. F300, Spectra, Win300F
- Interface Port
. OHT Port : 3 in / 3 Out
. Manual Port : 2 in / 2 Out
- 반송 Interface : OHT, OHS, Conveyor, AGV