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세메스(주)

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IRIS PRIME

모델명

시리즈

반도체 장비


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원산지

대한민국


041-620-8000

제품 상세 설명

개요

IRIS와 BLUEICE PRIME의 장점을 접목한 2X급 세정설비입니다.


특징

Process Performance

- High Grade Process (26nm)

Productivity / Hardware

- Contamination Free Clean by NIC Bowl
- New S2-Aerosol : High-Velocity / Uniformity Droplet
- Smart System : APAC (Auto Flow Control), Smart Equipment Analysis System, Auto Inspection System
- Energy Efficiency Rating : Class 1 

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