세메스(주)
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Coater Full Line
모델명
시리즈
디스플레이 장비
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제품 상세 설명
개요
Displax Panel 제조 공정 중 건조, 도포, 현상 공정 담당 설비
특징
Varrious Application
- Cleaner + Coater + VCD + Bake + Developer
- Air Floating Coating Technology
- Coater Full Line Operation Technology
High Performance
- Coating Uniformity ≤ 0.8%
- Reproducibility ≤ 350Å↓
- 1㎛↑ Particle ≤ 10ea↓
Outstanding Advantage
- Minimized Fume and Particles by Air-flow Simulation
- Static electricity and Micro bubble Free
- Capable of 0.3t Glass Substrate