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세메스(주)

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BLUEICE SPM

모델명

시리즈

반도체 장비


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원산지

대한민국


041-620-8000

제품 상세 설명

개요

300mm Wafer의 Post CMP Clean, PR Strip, Ashingless PR Strip, Metal 제거 공정애 대응 가능한 매엽식 세정설비


특징

Process Performance

- High Temperature SPM Process over 150℃
- PR Strip, Post CMP Clean, Metal Clean and etc.

Productivity / Hardware

- Contamination Free Clean by NIC Bowl
- H2SO4 Recycle System
- Energy Efficiency Rating : Class 1 

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