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LOTUS

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시리즈

반도체 장비


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제품 상세 설명

개요

1X급(19nm) 대응 차세대 매엽식 세정설비


특징

Process Performance

- High Speed Robot Technology
- High Grade Process (19nm)
- High Temperature SPM Process Over 150℃

Productivity / Hardware

- Customized Chamber Configuration : 6, 9 or 12 Chambers
- State of the art Particle Improvement Technology
- User-Convenience (Vision Inspection, Tool Matching)
- Equipment Analysis and Diagnosis System

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