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세메스(주)

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BLUEICE PRIME

모델명

시리즈

반도체 장비


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원산지

대한민국


041-620-8000

제품 상세 설명

개요

S.LSI 공정에 최적화된 L1X급 대응 매엽식 세정/건조설비 


특징

Process Performance

- High Grade Process (19nm)
- Defect Free Physical Cleaning

Productivity / Hardware

- Contamination Free Clean by NIC Bowl
- Leaning Free by CDA System
- SF-Aerosol : High-Velocity / Uniformity Droplet
- Smart System : APAC (Auto Flow Control), Smart Equipment Analysis System, Auto Inspection System

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