세메스(주)
1/1
OMEGA K
모델명
시리즈
반도체 장비
구매 안내
아래는 참고용 정보이므로 세부 조건은 반드시 제조사/판매자에게 문의 바랍니다.
결제 방법
제조사/판매자에게 문의 바랍니다.
납기 정보
제조사/판매자에게 문의 바랍니다.
배송 정보
제조사/판매자에게 문의 바랍니다.
원산지
제조사/판매자에게 문의 바랍니다.
제품 상세 설명
개요
KrF Inline 공정 대응 차세대 Photo 설비
특징
Defect Improvement
- Particle-free Robot System
- Separating Chemical and Rinse/Dry zine by Isolation Clean Bowl
Advanced Equipment Control System
- Application of Cylinder Auto Feed-back Control System and Chemical Flow Auto Feed-back Control System
Easy Maintenance
- Application of Equipment Condition Analysis and Self-diagnostic Function
- Improving Accessibility for easier Maintenance and Reducing MTBR