기업 등록
반도체장비, Chiller, Heat Exchanger, THC, Gas Scrubber 등
반도체 Photo 공정 Track 설비의 초정밀 온도, 습도 제어 System
저전력 Energy Saving System 최적화 설계 제작 (안정성 및 운영 편의성)
구분
사양
TEMPERATURE CONTROL RANGE
THC : 20 ~ 25℃ (±0.05 ℃) TCU : 20 ~ 25℃ (±0.05 ℃)
HUMIDITY CONTROL RANGE
THC : 40 ~ 45% (±0.25%)
FLOW RATE
88.5 ℓ/min
WIND SPEED
61㎥/min
