기업 등록
반도체장비, Chiller, Heat Exchanger, THC, Gas Scrubber 등
반도체 공정으로부터 발생하는 폐가스를 LNG 연소를 통한 직화 처리로 독성가스를 처리하는 System
Scraper System 적용 정기 PM 주기 연장 안전 인증 설계 진행 운영 안정성 확보
구분
사양
Dimension(W x D x H)
720mm x 850mm x 1680mm
Power
208 VAC, 3 Phase, 3A
Capacity
400 SLM
Utilities
LNG, O2, CW, PCW, CDA, N2
