기업 등록
반도체장비, Chiller, Heat Exchanger, THC, Gas Scrubber 등
Dual Channel로 구성되며, 각 공정 온도는 +30℃ ~ +90℃ 공정까지 대응 가능한 특화된 Heat Exchanger System
저전력 Energy Saving 적용반도체 / LCD / LED MAIN 설비 대응
구분
사양
Channel
CH1
CH2
Temp Range
30℃ ~ 90℃
Cooling Type
Heat Exchanger
Cooling Capa
6.0kW at 50℃
Reservoir Volume
12.0 Liters
Single Channel로 구성되며, 공정 온도는 +30℃ ~ +180℃ 공정까지 대응 가능한 특화된 Heat Exchanger System
30℃ ~ 180℃
10.0kW at 50℃
15.0 Liters