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Plasma-Wet

모델명

시리즈

Scrubber


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제품 상세 설명

반도체 공정으로부터 발생하는 폐가스를 PLASMA를 이용하여 극고온 JET로 대상 가스를 분해 처리하는 System

PFC GAS의 높은 분해 효율성(99%)

구분

사양

Dimension(W x D x H)

720mm x 850mm x 1680mm

Power

208 VAC, 3 Phase, 3A

Capacity

300 SLM

Utilities

LNG, O2, CW, PCW, CDA, N2

 

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