기업 등록
반도체장비, Chiller, Heat Exchanger, THC, Gas Scrubber 등
반도체 공정으로부터 발생하는 폐가스를 PLASMA를 이용하여 극고온 JET로 대상 가스를 분해 처리하는 System
PFC GAS의 높은 분해 효율성(99%)
구분
사양
Dimension(W x D x H)
720mm x 850mm x 1680mm
Power
208 VAC, 3 Phase, 3A
Capacity
300 SLM
Utilities
LNG, O2, CW, PCW, CDA, N2
