반도체 공정으로부터 발생하는 폐가스를 전기히터를 사용하여 자연발화점 이상의 온도로 가열하여 독성가스를 처리하는 System

고온의 Heater를 사용하여 가연성 및 수용성 Gas 처리
Burn & Plasma Type 대비 운영 비용 저렴