(주)피티씨
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Heat-Wet
모델명
시리즈
Scrubber
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제품 상세 설명
반도체 공정으로부터 발생하는 폐가스를 전기히터를 사용하여 자연발화점 이상의 온도로 가열하여 독성가스를 처리하는 System
고온의 Heater를 사용하여 가연성 및 수용성 Gas 처리
Burn & Plasma Type 대비 운영 비용 저렴
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구분 |
사양 |
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Dimension(W x D x H) |
750mm x 700mm x 1600mm |
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Power |
208 VAC, 3 Phase, 8kW |
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Capacity |
300 SLM |
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Utilities |
N2, CDA, CW |