반도체 공정으로부터 발생하는 폐가스를 흡착제(Resin) 성분을 이용하여 물리흡착 및 화학흡착 반응을 통하여 TLV 값 이하로 제거하여 무해한 가스로 정화하는 System

Resin을 이용한 효율적 Target Gas 흡착
CW 미 사용(UT절감)