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(주)제이앤엘테크
제품 상세 정보
METALLION™은 아크 방전을 이용하여 음극부의 메탈 타겟을 증발시켜 이를 표면에 증착 시키는 표면 코팅 장비입니다.
시스템 사양
| 챔버 크기 | Ø1000×H1200, Custom-made |
| 지그 시스템 | 2 fold or 3 fold |
| 작동 가스 | Mass flow control system Ar · N2 · etc |
| 플라즈마 소스 | 5" Cathodic Arc Source (Auto trigger, Direct Water Cooling) |
| 초기 진공도 | ~10-6Torr |
| 바이어스 전원 | Pulsed DC |
| 히터 | Max 480℃ |
| 장치 운전 | 전자동/반자동 |
주요특징
• 다양한 코팅막 증착이 가능
• 높은 증착률 및 이온화율
• 금속 모재에 대한 우수한 접합력
• 코팅 상대재에 대한 높은 접합력
• 높은 재현성과 유지보수의 용이성
응용분야
TiN, TiCN, TiAlN, AlTiN, CrN, Nano Composite 코팅 등 적절한 Target Material을 선택함으로써 다양한 코팅이 가능합니다.
