CARBOZEN-LAB 시리즈는 프로토타입 생산, 연구소에 최적화된 소형 사이즈로 합리적인 가격에 Hard&Tribological, DLC, 메탈코팅, 데코레이션 컬러 코팅 등 다양한 진공증착 테스트가 가능한 Multi Coater입니다.
시스템 사양
| 챔버 크기 |
Ø500×H250mm |
| 증착률 |
300mm per hour |
| 캐소드 사이즈 |
Ø300 mm |
| 플라즈마 소스 |
Linear ion source, UBM sputter, Cathodic arc |
주요특징
• 개발예산에 맞춰 다양한 옵션 선택 가능 (선택옵션에 따라 가격 조절이 가능)
• 20년 동안 축적해온 양산 코팅 기술로 최적화된 솔루션 제공
• 코팅공정의 설계, 수정이 용이한 전자동 소프트웨어
스펙표
●=Standard / ●=Option
| Components |
Full Option |
PECVD |
Sputtering |
Metal-ARC |
Specifications |
| Rotary pump |
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4~60 m3/h |
| Turbo pump |
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200~400 l/s |
| Throttl Valve |
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Blade type |
| Baratron Gauge |
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0.1~1torr |
| Pressure Controller |
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Automatic Control |
| Heater |
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400~500℃ |
| 1 Fold Turntable |
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3 Axis Rotation |
| 2 Fold Turntable |
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3 Axis Rotation & Revolution |
| Sputter DC Power Supply |
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2KW DC |
| Ion Source DC Power Supply |
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10KW DC |
| Cathodic Arc Power Supply |
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5KW DC |
| Bias Power Supply |
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5KW 350khz |
| Cathode Power Supply |
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AC or RF |
| 4 Inch Sputter Source |
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Unbalanced Magnetron Sputter |
| 4 Inch Ion Source |
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Closed drift Type |
| 3 Inch Cathodic Arc Source |
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Direct cooling Type |
