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제이앤엘테크

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CARBOZEN™-LAB

모델명

시리즈

코팅시스템


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원산지

대한민국


031-499-1005

제품 상세 설명

CARBOZEN-LAB 시리즈는 프로토타입 생산, 연구소에 최적화된 소형 사이즈로 합리적인 가격에 Hard&Tribological, DLC, 메탈코팅, 데코레이션 컬러 코팅 등 다양한 진공증착 테스트가 가능한 Multi Coater입니다.

 

시스템 사양

챔버 크기 Ø500×H250mm
증착률 300mm per hour
캐소드 사이즈 Ø300 mm
플라즈마 소스 Linear ion source, UBM sputter, Cathodic arc

 

주요특징

• 개발예산에 맞춰 다양한 옵션 선택 가능 (선택옵션에 따라 가격 조절이 가능)
• 20년 동안 축적해온 양산 코팅 기술로 최적화된 솔루션 제공
• 코팅공정의 설계, 수정이 용이한 전자동 소프트웨어

 

스펙표

●=Standard / ●=Option

Components Full Option PECVD Sputtering Metal-ARC Specifications
Rotary pump 4~60 m3/h
Turbo pump 200~400 l/s
Throttl Valve     Blade type
Baratron Gauge     0.1~1torr
Pressure Controller     Automatic Control
Heater 400~500℃
1 Fold Turntable     3 Axis Rotation
2 Fold Turntable 3 Axis Rotation & Revolution
Sputter DC Power Supply     2KW DC
Ion Source DC Power Supply   10KW DC
Cathodic Arc Power Supply     5KW DC
Bias Power Supply 5KW 350khz
Cathode Power Supply     AC or RF
4 Inch Sputter Source     Unbalanced Magnetron Sputter
4 Inch Ion Source Closed drift Type
3 Inch Cathodic Arc Source     Direct cooling Type

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LAB SERIES

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