CARBOZEN-M시리즈는 초대형 사이즈 제품 코팅이 가능하며, 표면 경도를 높여 제품의 수명을 향상시키는 코팅 솔루션입니다.

 

시스템 사양

챔버 크기	Ø1000×L3000mm, Custom-made
코팅유효영역	Ø700×L2700
증착률	0.5㎛ / Hr
플라즈마 소스	Linear Ion Source, UBM Sputter

 

주요특징

[하드웨어]
• Linear Ion Source를 이용한 Cleaning방식으로 높은 에칭률 구현
• UBM Sputter를 이용한 Multi-layer버퍼층 증착으로 우수한 접합력 구현
• Edge effect 최소화를 위한 전극 구조 설계
• 제품 이송에 대한 안전성 확보 및 유지보수 편의성을 위한 레일형 CVD 도어 시스템 적용

 

 

응용분야

대형 그라비아 롤러    

 

사용효과

▶ 고경도·내마모성에 의한 수명 향상 (기존 대비 2배)
▶ 전자 잉크에 대한 이형성 개선 → 인쇄 속도, 인쇄 해상도 향상
▶ 생산품에 대한 품질, 신뢰성 향상