CARBOZEN™-C(PECVD : Plasma Enhanced CVD) SERIES는 플라즈마를 이용한 CVD로 글로우 방전을 이용해 Source gas를 이온화 시켜 고객의 다양한 요구를 만족시키는 코팅 시스템입니다.

 

Application

챔버 크기	Custom-made
작동 가스	Mass flow control system Ar · O2 · C2H2 · CH4 · C6H6 · etc
초기 진공도	~10-6Torr
바이어스 전원	13.56 MHz [RF]
장치 운전	전자동 / 반자동
냉각 방식	Water cooled

 

CARBOZEN™-C의 장점

• 고순도의 코팅막 형성 가능
• Source Gas에 따라 다양한 코팅막 형성 가능
• 대면적 코팅 시의 균일성과 높은 증착률
• 공정 Control이 쉬우며 대량 처리가 가능
• 낮은 코팅막 증착 온도

 

응용분야

 

평면 DLC 분야

디스플레이용 경면 부품 도광판, CD몰드, 코인헤드      

 

내경 DLC 분야

냉장고 Compressior 부품, 화학 플랜트관