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(주)제이앤엘테크
제품 상세 정보
CARBOZEN™-C(PECVD : Plasma Enhanced CVD) SERIES는 플라즈마를 이용한 CVD로 글로우 방전을 이용해 Source gas를 이온화 시켜 고객의 다양한 요구를 만족시키는 코팅 시스템입니다.
Application
| 챔버 크기 | Custom-made |
| 작동 가스 | Mass flow control system Ar · O2 · C2H2 · CH4 · C6H6 · etc |
| 초기 진공도 | ~10-6Torr |
| 바이어스 전원 | 13.56 MHz [RF] |
| 장치 운전 | 전자동 / 반자동 |
| 냉각 방식 | Water cooled |
CARBOZEN™-C의 장점
• 고순도의 코팅막 형성 가능
• Source Gas에 따라 다양한 코팅막 형성 가능
• 대면적 코팅 시의 균일성과 높은 증착률
• 공정 Control이 쉬우며 대량 처리가 가능
• 낮은 코팅막 증착 온도
응용분야
평면 DLC 분야
디스플레이용 경면 부품 도광판, CD몰드, 코인헤드
내경 DLC 분야
냉장고 Compressior 부품, 화학 플랜트관
DLC 코팅 제품 제조업체, DFC 코팅, 하드코팅, 박막 분석장비, 스크레치 테스터 등
제이앤엘테크는 국내/외 고체 윤활 코팅 시장을 선도 해왔으며, 플라즈마 코팅 서비스에서 축적된 기술과 장비 제조 기술을 바탕으로 코팅 시스템은 물론 박막 분석장비 분야에서도 세계 최고의 기술력을 인정 받고 있는 플라즈마 코팅 전문기업입니다.
제이앤엘테크는 PECVD, Ion Plating, FCVA 등의 주요 코팅장비 제조 기술과 자체 개발한 박막분석 기술 및 3차원 코팅기술을 바탕으로 DLC, CrN, TiN, TiAlN 등의 고경도 코팅은 물론, 복합구조 기능성 코팅에 이르기까지 다양한 코팅 장비와 서비스를 안정적으로 제공 할 수 있는 체계를 갖추고 있습니다.
저희는 설립 초기부터 '부설 Plasma 연구소'를 중심으로 KIST, KIMM, KITECH 등 국내 유수 연구기관과의 공동 연구 개발 협력 체계를 구축하여 다양한 분야의 표면처리 코팅 기술을 연구 개발하여 왔습니다. 이를 바탕으로 플라즈마 코팅 시스템과 프로세스를 구축해 드리는 동시에 관련 엔지니어링을 위한 Total Solution을 제공하고 있습니다.
저희가 자체 개발한 플라즈마 코팅 장비군과 박막 R&D를 위한 물성 측정 장비는 대학, 연구소, 기업 등에서 신뢰성을 인정 받아 널리 사용되고 있으며 일본, 중국, 대만, 말레이시아, 인도 등지에 수출되고 있습니다.