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제이앤엘테크

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CARBOZEN™-H

모델명

시리즈

코팅시스템


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원산지

대한민국


031-499-1005

제품 상세 설명

CARBOZEN™-H(Hybrid PVD)는 Linear Ion Source, UBM Sputter의 조합을 통하여 고객의 다양한 요구를 만족시키는 코팅 장비입니다.

 

Application

챔버 크기 Ø600×H600, Ø700×H900,
Ø800×H1000, Ø1000×H1000,
Ø1000×H1200, Custom-made
지그 시스템 2 fold or 3 fold
작동 가스 Mass flow control system
Ar · O2 · C2H2 · CH4 · C6H6 · etc
플라즈마 소스 Linear Ion Source, UBM Sputter
초기 진공도 ~10-6Torr
바이어스 전원 Pulsed DC
히터 Max 250℃ [Optional 450℃]
장치 운전 전자동/반자동

 

응용분야

제이앤엘테크 CARBOZEN™-H  1

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Advanced Hybrid Coating System

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