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Throttle Valve Blind
모델명
ATV1000-B
시리즈
Throttle Valve
자료
-
구매정보
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(주)아토벡

반도체 생산공정의 핵심인 가스와 진공 제어용 센서 및 계측장치를 개발하

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제조사
(주)아토벡[바로가기]
제품 타입
기계
브랜드
-
SKU
129720
제품명
Throttle Valve Blind
모델명
ATV1000-B
사이즈
-
중량
-
제품 상세 정보

ATV1000-B Throttle Valve Blind

ATV1000-B(Blind) Type은 Valve안에 설치되어 Conductance를 조절하는 Plate를 창문에 치는 Blind 형태와 같이 만들어 Plate가 90도 Open 되더라도 다른 Valve 와 다르게 Throttle Valve 상, 하에 설치된 제품과 간섭이 되지 않아 Plate가 동작 할수 있는 공간을 위한 Adapter를 상, 하로 설치할 필요가 없어 전체적으로 진공장비의 부피와 가격을 절감하였고 또한 대형 Size Valve 도 공급할 수 있게 개발 하였다.





Specifications

Speed (open to close)

1.5sec

Resolution

1/24000 

Drive Method

Direct gear drive 

Maximum Valve Body

Operating Temperature

Standard 0-100

Optional : 0-150 (Note 1) 

Valve Motor Ambient Operating Temperature

-20 to +40 

Differential Pressure Across Valve

1 atm. (15 psig) max. 

External Leakage at Shaft seal

1x 10-8 sec He

Materials Exposed to Process

Standard : 304 3.3 Viton (Note 2)

Optional : 316 S.S Vition (Note 2) 

Compatible Controller

Model GPC3000 

MKS TYPE 651, 1651

Drive Output Torque

(with Model GPC3000 or MKS Type 651)

 

 


(주)아토벡
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