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반도체 생산공정의 핵심인 가스와 진공 제어용 센서 및 계측장치를 개발하
CG2000 Vacuum Gauge Controller
CG2000 Convection Gauge Controller의 진공 측정 범위는 8.0 X 10-4 ~ 1000 Torr이다. 두 개의 공정제어용 Trip-Point 제공되며, 이것을 이용하여 공정의 자동화를 실현할수 있다. 또한 RS-232 또는 RS-485 Protocol로 PC와 연결하여 사용할 수 있다.
Features & Benefits
■ 고 신뢰성, 저렴한 가격의 Controller.
■ 7-segment LED 채택으로 멀리서도 판독 가능.
■ 외부기기 및 공정에 사용토록 2개의 Set-Point 제공.
■ 16 Bit의 고 정밀 A/D Converter사용.
■ Gauge의 영점 및 대기업을 버턴으로 버정
Dimensions
Specifications
Physical
Width
96mm
Height
Depth
200mm
Weight
Approx. 800g
Electrical
Input Power required
98 ~ 265VAC @ 50/60 Hz.
Fuse rating
250 VAC @3 A
Output Power
+15VDC ± 5%, 800mA
- 15VDC ± 5%. 300mA
Operating Temperature
0 ~ 50°c
Pressure Range
8.0 x 10⁴ ~ 1000 Torr
Display Window
7 - segment LED
Relay
Two trip point relay
Display Units
torr, mbar, Pascal
Interface
RS-232C PC, Analog Output
RS-485 (Optional)