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[GMC300D] GMC300D [P/S & Flow Controller]
모델명
GMC300D
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-
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(주)아토벡

반도체 생산공정의 핵심인 가스와 진공 제어용 센서 및 계측장치를 개발하

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제조사
(주)아토벡[바로가기]
제품 타입
기계
브랜드
-
SKU
129705
제품명
[GMC300D] GMC300D [P/S & Flow Controller]
모델명
GMC300D
사이즈
-
중량
-
제품 상세 정보

GMC300D P/S & Flow Controller

GMC300D Flow Controller는 기본적으로 MFC(Mass Flow Controller)에 Power(±15VDC)를 공급하고 Flow양을 Display하며 안정된 Set Point Voltage (0~5VDC)를 주어 MFC가 정확하게 Control 될 수 있도록 하는 장치이다.

이 Controller는 2 Channel 이 기본으로 장착되어 있으며, 모든 동작이 Micro Processor로 Control 되며 RS-232  Interface를 이용한 PC Control도 가능하다.


 


Features & Benefits

■ 2Channel 용의 작은 Size로 공간 확보가 용이.

■ 초고속 마이크로 프로세서 채택

■ 12bit의 Bipoair A/D Converter 사용 (± Voltage Display 가능)

■ 7-Segment LED 채택으로 멀리서도 판독 가능.

■ Jog Dial을 이용하여 유량 조절하는 방식.

■ 비율 Control 기능.

■ PC 통신, External 유량 On/Off제어 기능




Dimensions





Specifications

Phy sical

Width

96 mm 

Height

96 mm 

Depth

200 mm 

Weight 

Approx. 800g 

Electrical

Input Power

98 ~ 265VAC @50/60 Hz 36VA 

Fuse Rating 

250 VAC @3A 

Output Power 

+/- 15VDC ± 5% @1.3A

Operating Temperature

0 ~ 50°C 

Input Signal 

0 ~ 5.000 VDC 

Output Command Signal 

0 ~ 5.000 VDC 

Display Window 

7-segment LED (3 1/2 digit) 

Display Units

sccm, slm, %

Interface 

RS-232C PC, TTL flow On/Off 


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