product Image
[EG301] EG301 (Enhanced Convection Gauge)
모델명
EG301
자료
-
구매정보
provider logo
(주)아토벡

반도체 생산공정의 핵심인 가스와 진공 제어용 센서 및 계측장치를 개발하

연락처
031-526-0526
이메일
atovac@atovac.com
상품정보에 문제가 있나요?
정보수정 / 삭제요청
코머신은 제품 판매자가 아닙니다.법적고지 및 안내
제조사
(주)아토벡[바로가기]
제품 타입
기계
브랜드
-
SKU
129712
제품명
[EG301] EG301 (Enhanced Convection Gauge)
모델명
EG301
사이즈
-
중량
-
제품 상세 정보

EG301 Enhanced Convection Gague

일반적으로 진공 Chamber에 설치되어, 실제 진공 Chamber 내에 압력을 읽어내는 게이지 이며, +24 VDC(15 VDC 가능)의 파워를 필요로 하고

3~10 VDC 시그널의 출력을 가지는 EG301 Enhanced Convection Gauge 는 반도체 공정 및 진공 장비에 사용 됩니다. 




Features & Benefits

■ 넓은 범위의 압력층정 가능(2.0 X 10-4 to 760 Torr).

■ 높은 정확도 및 설치 공간의 효율성 증대.

■ Analog Output 제공하여 PLC 및 기타 장치에 직접 연결하여 Display 가능.

■ 7-segment LED 채택으로 인해 멀리서도 판독 가능.

■ RS-485 를 이용하여 PC 제어 가능.

■ 외부기기 및 공정에 사용할 수 있도록 2개의 Set-Point 제공.

■ 저비용(Sensor Wire 교체) 로 수리 가능.

■ Controller 가 필요 없이 단독으로 사용 가능.




Dimensions





Specifications

Physical

Input Power

+24 VDC (15 VDC 가능)

Output Power

+3 VDC to 10 VDC

Operating Temperature 

0 ~ 50°c

Pressure Range

2.0 X 10-4 ~ 760 Torr

Display Window

7-segment LED

Display Unit

Torr

Mounting Position

Horizontal

Filament

Platinum 99.999 %

Flanges

NW16 ISO-KF , NW25 ISO-KF, 1/4 VCR Female, CF Flange

Interface

Analog Output, RS-485 , 2 Set-Point

(주)아토벡
(주)아토벡
반도체 생산공정의 핵심인 가스와 진공 제어용 센서 및 계측장치를 개발하
문의하기