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반도체 생산공정의 핵심인 가스와 진공 제어용 센서 및 계측장치를 개발하
CG202 Convection Gauge
Convection Gauge (CG202)의 진공 측정범위는 8.0 x 10-4 ~ 1000 torr 입니다.
Convection Gauge (CG202)을 사용하기 위해서는 CG2000 Model 이나, CVC2200 Model이 필요 합니다.
Specifications
Gauge Type
ATovacSeries202
Mounting Position
Horizontal
Filament
Platinum 99.999%
Operating Pressure
8.0 x 10-4 to 1000 Torr
Operating Temperature
0 ~ 50°C
Maximum Baking Temperature
50°C
Flanges
NW16 ISO-KF, NW25 ISO-KF, Mini CF, rotatable
Internal Volume
About 40 cc
* Sensor Wire replacement is available.