Features & Techniques
- 2, 4, 6인치 TRACK SYSTEM
> 2C2D / 2C3D LED용 TRACK SYSTEM
> Wafer balance & align technique 보유
> Track System protocol 확보(User의 사용 스케쥴 적용 가능)
- REFURBISH ITEM
> 6, 8인치 구형 TRACK -> 2, 4인치 LED 용 TRACK으로 개조
(요청시 6인치로도 가능)
> 6, 8인치 구형 TRACK NORMAL CS-> SMIF CS로 개조
(별도 ITEM)
- LED 공장 자동화 기술, 불량 분석 및 생산 아이템 장비 기술 확보
> 반도체 장비 및 LCD장비의 자동화 시스템 다수 개발 및 노하우 축적
Specification
| Section |
Item |
Specification Description |
|
System
Description
|
Model |
MLT-6000 |
| System control |
-.Compact PCI Control
(Pentium4, Windows XP)
-.Touch panel
Base program : Visual |
| Process |
Track for Coating / Develop system |
| Wafer size |
Selecting among 2”, 4", 2"/4“ combination, 6” |
| Wafer type |
Flat type LED wafer |
System
Configuration |
Spin unit |
Coater / Develop |
| Bake unit |
AD(Option), HP, CP
(Multistage layering disposition) |
| Robot unit |
CS ROBOT / MAIN ROBOT |
| Index unit |
Selecting among 2~4 Cassette |
