(주)엠아이반도체
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Track System
모델명
시리즈
Track System
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제품 상세 설명
Features & Techniques
- 2, 4, 6인치 TRACK SYSTEM
> 2C2D / 2C3D LED용 TRACK SYSTEM
> Wafer balance & align technique 보유
> Track System protocol 확보(User의 사용 스케쥴 적용 가능)
- REFURBISH ITEM
> 6, 8인치 구형 TRACK -> 2, 4인치 LED 용 TRACK으로 개조
(요청시 6인치로도 가능)
> 6, 8인치 구형 TRACK NORMAL CS-> SMIF CS로 개조
(별도 ITEM)
- LED 공장 자동화 기술, 불량 분석 및 생산 아이템 장비 기술 확보
> 반도체 장비 및 LCD장비의 자동화 시스템 다수 개발 및 노하우 축적
Specification
| Section | Item | Specification Description |
|
System |
Model | MLT-6000 |
| System control | -.Compact PCI Control (Pentium4, Windows XP) -.Touch panel Base program : Visual |
|
| Process | Track for Coating / Develop system | |
| Wafer size | Selecting among 2”, 4", 2"/4“ combination, 6” | |
| Wafer type | Flat type LED wafer | |
| System Configuration |
Spin unit | Coater / Develop |
| Bake unit | AD(Option), HP, CP (Multistage layering disposition) |
|
| Robot unit | CS ROBOT / MAIN ROBOT | |
| Index unit | Selecting among 2~4 Cassette |