반도체 및 전자부품의 표면 몰딩 제거를 위한 자동화된 디캡 장비와 정밀 식각 장비를 개발, 생산하는 기업. 세계 최초의 자동화 로봇 디캡 장비인 MIS Auto Decaper를 포함하여 다양한 식각 및 공정 장비 솔루션 제공. 레이저 디캡, 습식 식각, 밀링 식각 등 고정밀 반도체 제조 공정 장비 기술력 보유. Track System 및 슬러리 절감 노즐 장치 등 반도체 및 디스플레이 공정 효율화 장비 개발 역량.반도체및전자부품의표면몰딩제거를위한자동화된디캡장비와정밀식각장비를개발,생산하는기업.세계최초의자동화로봇디캡장비인MISAutoDecaper를포함하여다양한식각및공정장비솔루션제공.레이저디캡,습식식각,밀링식각등고정밀반도체제조공정장비기술력보유.TrackSystem및슬러리절감노즐장치등반도체및디스플레이공정효율화장비개발역량.
대표 제품군/보유 기술대표제품군/보유기술
**MIS Auto Decaper (모델명: MD-2006A)**: 패키지된 반도체 및 전자부품의 표면 몰딩(EMC, Epoxy Molding compounds)을 안전하고 효과적으로 제거하는 세계 최초의 자동화 로봇 장비. 밀링, 에칭, 가열, 아세톤 세척, 건조, 초음파 세척, Vision 검사 기능을 통합하며, 듀얼 히팅(Dual Heating) 방식과 레시피 파일을 통한 반복 재현성 제공. 5x5mm ~ 50x50mm 크기의 IC를 처리하며, 최소 0.01mm의 밀링 깊이 정밀도 보유.**MISAutoDecaper(모델명:MD-2006A)**:패키지된반도체및전자부품의표면몰딩(EMC,EpoxyMoldingcompounds)을안전하고효과적으로제거하는세계최초의자동화로봇장비.밀링,에칭,가열,아세톤세척,건조,초음파세척,Vision검사기능을통합하며,듀얼히팅(DualHeating)방식과레시피파일을통한반복재현성제공.5x5mm~50x50mm크기의IC를처리하며,최소0.01mm의밀링깊이정밀도보유.
**MIS Wet Etch (모델명: DW-07)**: 화학 물질을 이용한 자동 디캡 장비로, 에칭, 가열, 아세톤 세척, 건조 기능을 수행. 유해 화학물로부터 작업자를 안전하게 보호하며, Copper Wired IC의 Copper 손상을 최소화하고 패키지 밑면의 Ball이나 Tape 손상을 줄이는 기술력. 2x2mm ~ 50x50mm 크기의 IC를 처리하며, 발연질산, 황산 등 다양한 에천트 사용 가능.**MISWetEtch(모델명:DW-07)**:화학물질을이용한자동디캡장비로,에칭,가열,아세톤세척,건조기능을수행.유해화학물로부터작업자를안전하게보호하며,CopperWiredIC의Copper손상을최소화하고패키지밑면의Ball이나Tape손상을줄이는기술력.2x2mm~50x50mm크기의IC를처리하며,발연질산,황산등다양한에천트사용가능.
**MIS Mill Etch (모델명: DM-07)**: End Mill을 사용하여 EMC를 밀링하는 장비로, 신속하고 안전하며 정확한 밀링 작업 가능. 로봇 동작에 의한 밀링 기능은 평균 1분 미만의 빠른 처리 속도를 보이며, X, Y, Z축 로봇 모션은 최소 0.01mm(10㎛)의 정밀도를 가짐. 2x2mm ~ 80x80mm 크기의 IC를 처리하며, 금속 표면 제거 및 백사이드 밀링에 효과적.**MISMillEtch(모델명:DM-07)**:EndMill을사용하여EMC를밀링하는장비로,신속하고안전하며정확한밀링작업가능.로봇동작에의한밀링기능은평균1분미만의빠른처리속도를보이며,X,Y,Z축로봇모션은최소0.01mm(10㎛)의정밀도를가짐.2x2mm~80x80mm크기의IC를처리하며,금속표면제거및백사이드밀링에효과적.
**Laser Decaper (모델명: ML-2000)**: 레이저를 이용한 반도체 IC 디캡 장비로, 모든 종류의 반도체 패키지(EMC) 제거 가능. Cu 와이어 손상을 최소화하며, 실시간 비전 카메라와 X-ray 이미지 중첩 기능을 통해 디캡 영역을 정밀하게 지정. 2x2mm ~ 100x100mm 크기의 IC를 처리할 수 있는 넓은 범위의 대응력.**LaserDecaper(모델명:ML-2000)**:레이저를이용한반도체IC디캡장비로,모든종류의반도체패키지(EMC)제거가능.Cu와이어손상을최소화하며,실시간비전카메라와X-ray이미지중첩기능을통해디캡영역을정밀하게지정.2x2mm~100x100mm크기의IC를처리할수있는넓은범위의대응력.
**MIS Deprocessor (모델명: MP-2007A)**: 초소형 반도체의 디캡, 실리콘 칩의 부분 식각(Etching) 및 여러 층으로 구성된 칩의 레이어를 선택적으로 벗겨내는 Delaminating 작업(마이크로미터 단위 정밀도)이 가능한 식각 장비.**MISDeprocessor(모델명:MP-2007A)**:초소형반도체의디캡,실리콘칩의부분식각(Etching)및여러층으로구성된칩의레이어를선택적으로벗겨내는Delaminating작업(마이크로미터단위정밀도)이가능한식각장비.
**Plasma Etching System (모델명: MPI-6000, 8000)**: 플라즈마를 활용한 식각 시스템으로, 반도체 공정의 다양한 요구에 대응하는 기술력.**PlasmaEtchingSystem(모델명:MPI-6000,8000)**:플라즈마를활용한식각시스템으로,반도체공정의다양한요구에대응하는기술력.
**Track System (모델명: MLT-6000)**: 2, 4, 6인치 웨이퍼를 위한 트랙 시스템으로, 2C2D / 2C3D LED용 트랙 시스템 및 웨이퍼 밸런스 및 정렬 기술 보유. 구형 6, 8인치 트랙을 2, 4인치 LED용 트랙으로 개조하는 리퍼비시(Refurbish) 서비스 제공.**TrackSystem(모델명:MLT-6000)**:2,4,6인치웨이퍼를위한트랙시스템으로,2C2D/2C3DLED용트랙시스템및웨이퍼밸런스및정렬기술보유.구형6,8인치트랙을2,4인치LED용트랙으로개조하는리퍼비시(Refurbish)서비스제공.
**슬러리 절감 노즐 장치**: 반도체 공정에서 슬러리 사용량을 최적화하여 비용 절감 및 효율 증대를 목표로 하는 기술.**슬러리절감노즐장치**:반도체공정에서슬러리사용량을최적화하여비용절감및효율증대를목표로하는기술.
경쟁 우위 포인트경쟁우위포인트
**세계 최초 자동화 로봇 디캡 기술력**: MIS Auto Decaper는 패키지된 반도체 및 전자부품의 표면 몰딩을 안전하고 효과적으로 제거하는 세계 최초의 자동화된 로봇 장비로서, 수작업 및 기존 여러 장비를 대체하는 독보적인 솔루션.**세계최초자동화로봇디캡기술력**:MISAutoDecaper는패키지된반도체및전자부품의표면몰딩을안전하고효과적으로제거하는세계최초의자동화된로봇장비로서,수작업및기존여러장비를대체하는독보적인솔루션.
**고정밀 식각 및 디캡 공정 구현**: 최소 0.01mm(10㎛) 단위의 정밀도를 갖는 로봇 모션 제어 기술과 마이크로미터 단위의 Delaminating 작업이 가능한 Deprocessor 기술을 통해 초소형 반도체 및 복합 칩의 정밀 가공 능력.**고정밀식각및디캡공정구현**:최소0.01mm(10㎛)단위의정밀도를갖는로봇모션제어기술과마이크로미터단위의Delaminating작업이가능한Deprocessor기술을통해초소형반도체및복합칩의정밀가공능력.
**다양한 디캡 및 식각 방식 포트폴리오**: 레이저, 습식 화학, 밀링 등 다양한 방식의 디캡 및 식각 장비를 보유하여 고객의 다양한 요구와 재료 특성에 맞는 맞춤형 솔루션 제공.**다양한디캡및식각방식포트폴리오**:레이저,습식화학,밀링등다양한방식의디캡및식각장비를보유하여고객의다양한요구와재료특성에맞는맞춤형솔루션제공.
**공정 효율성 및 안전성 극대화**: 자동화된 시스템은 작업자의 유해 화학물질 노출을 최소화하고, 자체 흡배기 시스템 및 안전 인터록 기능을 통해 작업 환경의 안전성 확보. 또한, 소모성 가스켓 불필요 및 적은 양의 에칭 케미컬 사용으로 유지보수 비용 절감 및 생산 효율성 향상.**공정효율성및안전성극대화**:자동화된시스템은작업자의유해화학물질노출을최소화하고,자체흡배기시스템및안전인터록기능을통해작업환경의안전성확보.또한,소모성가스켓불필요및적은양의에칭케미컬사용으로유지보수비용절감및생산효율성향상.
**고객 맞춤형 솔루션 및 기술 협력**: 삼성전자에 전략 과제물로 선정되어 MIS Auto-Deprocessor를 개발 및 납품한 이력. 한국과학기술연구원(KIST)과의 공동 기술실시계약을 통한 연구 개발 추진.**고객맞춤형솔루션및기술협력**:삼성전자에전략과제물로선정되어MISAuto-Deprocessor를개발및납품한이력.한국과학기술연구원(KIST)과의공동기술실시계약을통한연구개발추진.
**지속적인 연구 개발 및 기술 혁신**: 나노 가공 장비 및 디스플레이 분야에서도 혁신적인 제품 개발에 지속적인 노력을 기울이며, 세계 시장을 선도하는 창조적 기술과 신뢰를 바탕으로 고객 만족을 최우선하는 경영 지침.**지속적인연구개발및기술혁신**:나노가공장비및디스플레이분야에서도혁신적인제품개발에지속적인노력을기울이며,세계시장을선도하는창조적기술과신뢰를바탕으로고객만족을최우선하는경영지침.
적용 산업적용산업
반도체 제조 산업반도체제조산업
전자 부품 제조 산업전자부품제조산업
디스플레이 제조 산업 (LCD, LED)디스플레이제조산업(LCD,LED)
모바일 기기 제조 산업모바일기기제조산업
주요 시장주요시장
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인증/특허인증/특허
2007년 '경기중소기업인 기술상' 수상 (신경욱 대표이사).2007년'경기중소기업인기술상'수상(신경욱대표이사).
한국과학기술연구원(KIST)과의 공동 기술실시계약 체결 및 연구 개발 추진.한국과학기술연구원(KIST)과의공동기술실시계약체결및연구개발추진.
기술성 및 사업성을 인정받아 한국 산업은행으로부터 자본 출자 유치.기술성및사업성을인정받아한국산업은행으로부터자본출자유치.
MIS Auto Decaper의 세계 최초 자동화 로봇 장비 개발 기술.MISAutoDecaper의세계최초자동화로봇장비개발기술.
MIS Deprocessor의 초소형 반도체 디캡, 부분 식각, Delaminating 작업(마이크로미터 단위 정밀도)이 가능한 세계 최초 식각 장비 기술.MISDeprocessor의초소형반도체디캡,부분식각,Delaminating작업(마이크로미터단위정밀도)이가능한세계최초식각장비기술.
Dual Heating 방식(MIS 특화기술)을 통한 정밀하고 빠른 디캡 공정 기술.DualHeating방식(MIS특화기술)을통한정밀하고빠른디캡공정기술.
Wafer balance & align technique 및 Track System protocol 확보 (MLT-6000).Waferbalance&aligntechnique및TrackSystemprotocol확보(MLT-6000).
LED 공장 자동화 기술, 불량 분석 및 생산 아이템 장비 기술 축적.LED공장자동화기술,불량분석및생산아이템장비기술축적.