GST
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Dry Type
모델명
시리즈
Exhaust Management
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제품 상세 설명
개요
ㆍ흡착제 충진 Tank에 유해가스가 지나가면서 물리, 화학적 흡착을 통해 유해가스를 TLV 이하로 처리하는 시스템
ㆍ적용 분야 Metal Etching, Ion Implant공정
특징
ㆍ고효율 가스처리
ㆍTLV이하 가스 배출 최적화 설계
ㆍ낮은 Overall CoO
ㆍ주 카트리지 80리터
ㆍ바이패스용 미니 카트리지
ㆍ압력 모니터링 및 안전장치
ㆍN2 Eductor로 Inlet단 압력 조절
ㆍ온도 제어 모니터링 및 자동 N2 퍼지기능
Size
ㆍ650(W) x 540(D) x1650(H)
Utility
| Item | Type | Connection Type | |
| SDS | |||
| Electricity | 208VAC 1Phase 5A | 0.1KW | |
| CDA | 5 ~ 6.5 kg/㎠ | ¼” SS compression | |
| GN2 | 3 ~ 6 kg/㎠ | ¼” SS compression | |
| Gas Exhaust | -50 ~ -80㎜H2O | KF40 Flange | |
| Cabinet Exhaust | -30 ~ -60㎜H2O | Ø100 | |