GST
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Heat Exchanger Type
모델명
시리즈
Thermal Management
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제품 상세 설명
개요
ㆍ저온의 공정수(PCW)를 이용하여 Working Fluid(Coolant 등)를 냉각시켜 반도체 및 FPD 제조 공정에서 발생하는 열을 흡수하고, 공정 시 요구되는 일정 온도의 Working Fluid(Coolant)를 공급하는 시스템
ㆍ적용 분야 Etch, CVD, ALD 등
특징
ㆍHeat Exchanger Type(Multi Channel 가능)
ㆍ고온 사용 가능(30℃ ~ 200℃)
ㆍProportional Valve 적용으로 PCW 사용량 최소화
ㆍHeater 사용량 최소화
ㆍ사용자 편의성 증대(Touch Screen 적용)
ㆍ다양한 Working Fluid(Coolant, Water, Brine)