GST
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Thermal Type
모델명
시리즈
Exhaust Management
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제품 상세 설명
개요
ㆍ반도체, LCD, LED, OLED, SOLAR 공정에서 사용되는 가연성 및 기타 Gas를 Heater를 이용하여 처리하는 방식으로 Gas를 자연발화점 이상의 온도로 충분히 가열하여 처리하는 시스템
ㆍ적용 분야 반도체, LCD, OLED , Solar 가연성 가스 사용 공정
특징
ㆍHeater housing & Reactor 부식 방지
ㆍReactor부 안정적인 온도 제어
ㆍNox, CO 배출 저감
ㆍSiC 히터 보호관 적용 재질 : INCONEL
ㆍ산화 반응을 위한 CDA 공급
ㆍSteam injection(선택사항)
Size
ㆍISIS-I
720(W) x 860(D) x1750(H)
ㆍISIS-II
840(W) x 1000(D) x1750(H)
Utility
| Item | Type | Connection Type | |
| ISIS-I | ISIS-II | ||
| Electricity | -- | 208VAC 3Phase 75A | 208VAC 3Phase 125A |
| CDA | 5 ~ 6.5 kg/㎠ | ½” SS compression | ¾” SS compression |
| GN2 | 3 ~ 6 kg/㎠ | ⅜” SS compression | ⅜” SS compression |
| City Water | 3 ~ 6 kg/㎠ | ½” SS compression | ¾” SS compression |
| Cooling Water | 3 ~ 6 kg/㎠ | ½” SS compression | ¾” SS compression |
| Drain Water | Gravity | 40A PVC union | 40A PVC union |
| Pump | 20A PVC union | 15A PVC union | |
| Gas Exhaust | -50 ~ -80㎜H2O | MF100 Flange | MF125 Flange |
| Cabinet Exhaust | -30 ~ -60㎜H2O | MF100 Flange | MF100 Flange |
| NaOH (option) | 0.5 ~ 1 kg/㎠ | 1 ½” PVC double containment | |