GST
Burn Type
모델명
시리즈
Exhaust Management
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제품 상세 설명
개요
ㆍ반도체 공정에서 사용 후 발생되는 Gas를 직접 불꽃 사이로 통과시키면서 처리하는 방식으로 다단 연소를 통한 CO, Nox 처리 효율을 극대화한 시스템
ㆍ적용 분야 반도체 전공정 및 기타
특징
ㆍ다단연소를 통한 Nox 및 CO 배출 최소화
ㆍ높은 가스 처리 효율
ㆍ에너지 절약 모드 운영
ㆍ자동 크리닝 장치(선택사항)
ㆍFan을 통한 Air 공급(선택사항)
ㆍ배출단 Fan 설치 가능(선택사항)
ㆍSingle, Dual 선택 가능
Size
ㆍSingle
850(W) x 1035(D) x1880(H)
ㆍDual
1585(W) x 1085(D) x 1880(H)
| Item | Type | Connection Type | |
| Single | Dual | ||
| Electricity | 208VAC 3Phase 20A | 1KW | 2KW |
| LNG | 0.3 ~ 1.0 kg/㎠ | ½” VCR | ½” VCR |
| O2 | 3 ~ 4 kg/㎠ | ½” SS compression | ½” SS compression |
| CDA | 5 ~ 6.5 kg/㎠ | ½” SS compression | ¾” SS compression |
| GN2 | 3 ~ 6 kg/㎠ | ½” SS compression | ½” SS compression |
| City Water | 3 ~ 6 kg/㎠ | ½” SS compression | ¾” SS compression |
| Cooling Water | 3 ~ 6 kg/㎠ | ½” SS compression | ¾” SS compression |
| Drain Water | Acid Drain | 15A PVC union | 20A PVC union |
| Gas Exhaust | -50 ~ -80㎜H2O | MF100 Flange | MF100 Flange |
| Cabinet Exhaust | -30 ~ -60㎜H2O | MF100 Flange | MF100 Flange |
| NaOH (option) | 0.5 ~ 1 kg/㎠ | 1 ½” PVC double containment | |
ㆍLCD, LED, SOLAR 등의 대유량의 Gas를 처리하기 위한 Scrubber로 공정 중 발생, 배출되는 Gas를 직접 산화하는 방식이며 PFC Gas 등을 포함한 모든 Gas의 처리가 가능한 시스템
ㆍ적용 분야 반도체, LCD 전공정 및 기타
ㆍ높은 설비 가동률
ㆍ다단연소를 통한 저녹스, CO
ㆍ높은 가스 처리 효율
ㆍ에너지 절약 모드 운영
ㆍ자동 크리닝 장치(선택사항)
ㆍFan을 통한 Air 공급(선택사항)
ㆍ배출단 Fan 설치 가능(선택사항)
ㆍSingle, Dual 선택가능
Size
ㆍSingle
940(W) x 1200(D) x1950(H)
| Item | Type | Connection Type | |
| Single | |||
| Electricity | 208VAC 3Phase 20A | 1KW | |
| LNG | 0.3 ~ 1.0 kg/㎠ | ½” VCR | |
| O2 | 3 ~ 4 kg/㎠ | ½” SS compression | |
| CDA | 5 ~ 6.5 kg/㎠ | ¾” SS compression | |
| GN2 | 3 ~ 6 kg/㎠ | ½” SS compression | |
| City Water | 3 ~ 6 kg/㎠ | ½” SS compression | |
| Cooling Water | 3 ~ 6 kg/㎠ | ¾” SS compression | |
| Drain Water | Acid Drain | 15A PVC union | |
| Gas Exhaust | -50 ~ -80㎜H2O | MF200 Flange | |
| Cabinet Exhaust | -30 ~ -60㎜H2O | MF100 Flange | |
| NaOH (option) | 0.5 ~ 1 kg/㎠ | 1 ½” PVC double containment | |