GST
Compressor Type
모델명
시리즈
Thermal Management
구매 안내
아래는 참고용 정보이므로 세부 조건은 반드시 제조사/판매자에게 문의 바랍니다.
결제 방법
제조사/판매자에게 문의 바랍니다.
납기 정보
제조사/판매자에게 문의 바랍니다.
배송 정보
제조사/판매자에게 문의 바랍니다.
원산지
제조사/판매자에게 문의 바랍니다.
제품 상세 설명
개요
ㆍRefrigerant System을 이용하여 Working Fluid(Coolant 등)를 냉각시켜 반도체 및 FPD 제조 공정에서 발생하는 열을 흡수하고, 공정 시 요구되는 일정 온도의 Working Fluid(Coolant)를 공급하는 시스템
ㆍ적용 분야 Etch, Photo, ELA, Doping 등
특징
ㆍCompressor Type(Multi Channel 가능)
ㆍ넓은 온도 대역(-10℃ ~ 80℃)
ㆍElectric Expansion Valve 적용으로 Compressor 용량 가변(Heatless System)
ㆍ환경 친화적인 냉매 사용(Non CFC&HCFC)
ㆍ사용자 편의성 증대(Touch Screen 적용)
ㆍ다양한 Working Fluid(Coolant, Water, Brine)
개요
ㆍCascade Refrigerant System을 이용하여 Working Fluid(Coolant)를 냉각시켜 Wafer 검사 장비에서 요구하는 저온(Chuck 온도 기준 : Min -55℃)의 Wafer Prober Chuck 온도를 유지하기 위해 일정 온도의 Working Fluid(Coolant)를 공급하는 시스템
ㆍ적용 분야 Wafer Prober Station
특징
ㆍCascade Refrigerant System
ㆍ넓은 온도 대역(Chuck 온도기준 : -55℃ ~ 150℃)
ㆍCold Process 및 Hot Process 대응 가능
ㆍProcess 전환 시 빠른 냉각 시간
ㆍ사용자 편의성 증대(Touch Screen 적용)
개요
ㆍRefrigerant System과 저온의 공정수(PCW)를 이용하여 Working Fluid(Coolant 등)를 냉각시켜 반도체 및 FPD 제조 공정에서 발생하는 열을 흡수하고, 공정 시 요구되는 일정 온도의 Working Fluid(Coolant)를 공급하는 시스템
ㆍ적용 분야 Etch, Photo, ELA, Doping 등
특징
ㆍCompressor Type + Heat Exchanger Type(Multi Channel 가능)
ㆍ넓은 온도 대역(-10℃ ~ 80℃)
ㆍElectric Expansion Valve 적용으로 Compressor 용량 가변(Heatless System)
ㆍProportional Valve 적용으로 PCW 사용량 최소화
ㆍ환경 친화적인 냉매 사용(Non CFC&HCFC)
ㆍ사용자 편의성 증대(Touch Screen 적용)
ㆍ다양한 Working Fluid(Coolant, Water, Brine)