GST
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Plasma Type
모델명
시리즈
Exhaust Management
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제품 상세 설명
개요
ㆍ반도체, LCD, LED, OLED, SOLAR 공정에서 DC Arc Jet Plasma를 이용하여 2000℃ 이상의 고온으로 발생 가스를 처리하는 시스템
ㆍ적용 분야 반도체 전공정
특징
ㆍReactor&Plasma Torch 부식 방지
ㆍ고온 ARC Plasma 화염 고효율
ㆍ에너지 절약 모드(Tool interface run mode)
ㆍ유지보수 편의성 고려한 디자인 최적화
Size
ㆍ850(W) x 895(D) x1700(H)
Utility
| Item | Type | Connection Type | |
| DURIAN | |||
| Electricity | 208VAC 3Phase 20A | 13KW | |
| CDA | 5 ~ 6.5 kg/㎠ | ½” SS compression | |
| GN2 | 3 ~ 6 kg/㎠ | ½” SS compression | |
| City Water | 3 ~ 6 kg/㎠ | ½” SS compression | |
| Cooling Water | 3 ~ 6 kg/㎠ | ½” SS compression | |
| Drain Water | Gravity | 40A PVC union | |
| Pump | 15A PVC union | ||
| Gas Exhaust | -50 ~ -80㎜H2O | MF100 Flange | |
| Cabinet Exhaust | -30 ~ -60㎜H2O | MF100 Flange | |
| NaOH (option) | 0.5 ~ 1 kg/㎠ | 1 ½” PVC double containment | |