GST
Electric Type
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시리즈
Thermal Management
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제품 상세 설명
개요
ㆍPeltier 소자를 이용하여 Working Fluid(Coolant 등)를 냉각하여 반도체 제조 공정에서 발생하는 열을 흡수하고, 공정 시 요구되는 일정 온도의 Working Fluid(Coolant)를 공급하는 시스템
ㆍ적용 분야 Etch
특징
ㆍPeltier Effect를 이용한 열전냉각
ㆍGrating 하부 설치 가능
ㆍ환경친화적 시스템
ㆍ빠른 응답속도 및 제어 용이
ㆍ설치 공간 최소화
ㆍWorking Fluid(Coolant) 사용량 최소화
개요
ㆍPeltier 소자를 이용하여 Working Fluid(Coolant 등)를 냉각하여 반도체 제조 공정에서 발생하는 열을 흡수하고, 공정 시 요구되는 일정 온도의 Working Fluid(Coolant)를 공급하는 시스템
ㆍ적용 분야 Etch
특징
ㆍPeltier Effect를 이용한 열전냉각
ㆍ공정장비 하부 설치 가능
ㆍ환경친화적 시스템
ㆍ빠른 응답속도 및 제어 용이
ㆍ설치 공간 최소화
ㆍWorking Fluid(Coolant) 사용량 최소화
개요
ㆍPeltier 소자와 저온의 공정수(PCW)를 이용하여 Working Fluid(Coolant 등)를 냉각시켜 반도체 제조 공정에서 발생하는 열을 흡수하고, 공정 시 요구되는 일정 온도의 Working Fluid(Coolant)를 공급하는 시스템
ㆍ적용 분야 Etch
특징
ㆍPeltier Effect를 이용한 열전냉각
ㆍElectric Type + Heat Exchanger Type
ㆍ환경친화적 시스템
ㆍ빠른 응답속도 및 제어 용이
ㆍ설치 공간 최소화
ㆍWorking Fluid(Coolant) 사용량 최소화