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제품명 Heat-Wet
모델명 PCS-HW400S
시리즈 Scrubber
카탈로그
제품소개

반도체 공정으로부터 발생하는 폐가스를 전기히터를 사용하여 자연발화점 이상의 온도로 가열하여 독성가스를 처리하는 System

고온의 Heater를 사용하여 가연성 및 수용성 Gas 처리
Burn & Plasma Type 대비 운영 비용 저렴

구분

사양

Dimension(W x D x H)

750mm x 700mm x 1600mm

Power

208 VAC, 3 Phase, 8kW

Capacity

300 SLM

Utilities

N2, CDA, CW

 

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