CARBOZEN-LAB 시리즈는 프로토타입 생산, 연구소에 최적화된 소형 사이즈로 합리적인 가격에 Hard&Tribological, DLC, 메탈코팅, 데코레이션 컬러 코팅 등 다양한 진공증착 테스트가 가능한 Multi Coater입니다.

 

시스템 사양

 

주요특징

• 개발예산에 맞춰 다양한 옵션 선택 가능 (선택옵션에 따라 가격 조절이 가능)
• 20년 동안 축적해온 양산 코팅 기술로 최적화된 솔루션 제공
• 코팅공정의 설계, 수정이 용이한 전자동 소프트웨어

 

스펙표

●=Standard / ●=Option

Components	Full Option	PECVD	Sputtering	Metal-ARC	Specifications
Rotary pump	●	●	●	●	4~60 m3/h
Turbo pump	●	●	●	●	200~400 l/s
Throttl Valve	●	●			Blade type
Baratron Gauge	●	●			0.1~1torr
Pressure Controller	●	●			Automatic Control
Heater	●	●	●	●	400~500℃
1 Fold Turntable	●	●			3 Axis Rotation
2 Fold Turntable	●	●	●	●	3 Axis Rotation & Revolution
Sputter DC Power Supply	●		●		2KW DC
Ion Source DC Power Supply	●	●	●		10KW DC
Cathodic Arc Power Supply	●			●	5KW DC
Bias Power Supply	●	●	●	●	5KW 350khz
Cathode Power Supply	●	●			AC or RF
4 Inch Sputter Source	●		●		Unbalanced Magnetron Sputter
4 Inch Ion Source	●	●	●	●	Closed drift Type
3 Inch Cathodic Arc Source	●			●	Direct cooling Type