기업 등록
진공증발원(E-cell), 진공증착장치(Sputter, E-beam, MBE 등)
- LED,디스플레이,반도체 등의 제조에 많이 사용되는 E-Beam 증착장비
- 박막태양전지제조에 사용되는 CIGS 증착용 장비
- 고온에서 화합물형태의 나노박막 증착에 사용되는 MBE 장비