기업 등록
진공증발원(E-cell), 진공증착장치(Sputter, E-beam, MBE 등)
- 2G(370x470) ~ 8G(2200x2500)까지 적용 - 최고의 Uniformity 구현 - 최적의 히터 배치로 Nozzle 막힘 방지 - One Body Crucible로 열 변형 최소화
