기업 등록
진공증발원(E-cell), 진공증착장치(Sputter, E-beam, MBE 등)
- 구 성 Loadlock, Pre-Treatment, Organic & Metal, Mask Stock등 - 특 징 기판 Size : 370mm * 470mm ~ Mechanical Align Unit Alpha-plus의 양산 기술로 제작된 Source 사용 - 적용 분야 OLED, Display 제작