(주)알파플러스
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E-Beam System
모델명
시리즈
진공시스템
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제품 상세 설명
효율적인 연구개발용 System
고객의 요청에 의한 Layout 구성 가능
- 구 성 Pre-Treatment, Organic, Metal, Encapsulation Unit
- 특 징 기판 Size : 100mm * 100mm ~ 150mm * 150mm
Mechancal Align Unit
Alpha-plus의 양산 기술로 제작된 Source 사용
- 적용분야 OLED Device 제작, 물질 개발