15년 이상의 진공장비 제작 노하우를 바탕으로 고객 맞춤형 장비 제작 및 공정 지원

스퍼터 캐소드 최적화를 통한 우수한 소스 신뢰성 및 박막 균일도 확보

주요 응용분야
  · 금속, 산화물, 질화물 코팅(Cu Seed layer, Mask용 Cr , Au, Ti, Pt, Ni, SiO2, TiO2, TiN, CrN 등)
  · 다층 박막 광학 코팅(칼라필터, AR 코팅, DBR 코팅)
  · TCO 코팅(ZnO, ITO 등)