기업 등록
진공증발원(E-cell), 진공증착장치(Sputter, E-beam, MBE 등)
구 성 · Loadlock, Pre-Treatment, Organic, Metal, Transfer, Buffer, Encapsulation Unit 특 징 · 기판 Size : 200mm * 200mm ~ · Auto Align Unit · Mechanical Align · Alpha-plus의 양신 기술로 제작된 Source 사용 적용 분야 · OLED, Micro Display 등의 Device 제작