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MBE System
모델명
AEC-500
시리즈
진공시스템
자료
-
구매정보
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(주)알파플러스

진공증발원(E-cell), 진공증착장치(Sputter, E-beam, MBE 등)

연락처
041-547-2390
이메일
alpha-plus@alpha-plus.co.kr
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제조사
(주)알파플러스[바로가기]
제품 타입
기계
브랜드
-
SKU
61971
제품명
MBE System
모델명
AEC-500, 1300, 1600-Series
사이즈
-
중량
-
제품 상세 정보

OLED Device 제작 및 재료 연구에 최적화 된 System

R&D 및 PP, MP line 적용가능

고객의 요청에 의한 다양한 Layout 구성


구 성
  · Loadlock, Pre-Treatment, Organic, Metal, Transfer, Buffer, Encapsulation Unit

특 징
  · 기판 Size : 200mm * 200mm ~
  · Auto Align Unit
  · Mechanical Align
  · Alpha-plus의 양신 기술로 제작된 Source 사용

적용 분야
  · OLED, Micro Display 등의 Device 제작

(주)알파플러스
(주)알파플러스
진공증발원(E-cell), 진공증착장치(Sputter, E-beam, MBE 등)
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