(주)알파플러스
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MBE System
모델명
시리즈
진공시스템
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제품 상세 설명
OLED Device 제작 및 재료 연구에 최적화 된 System
R&D 및 PP, MP line 적용가능
고객의 요청에 의한 다양한 Layout 구성
구 성
· Loadlock, Pre-Treatment, Organic, Metal, Transfer, Buffer, Encapsulation Unit
특 징
· 기판 Size : 200mm * 200mm ~
· Auto Align Unit
· Mechanical Align
· Alpha-plus의 양신 기술로 제작된 Source 사용
적용 분야
· OLED, Micro Display 등의 Device 제작