AIR SEM

설명 : 세계 최초로 기술 개발한 Hybrid E-BEAM

 

특징

1)  In-Situ SEM 영상 관찰 및 측정
2) 전자빔의 대전현상 최소화
3) 시료 표면 손상 최소화
4) 바이오 시료 관찰의 최척화
5) EDS 성분분석 지원 가능
6) FEG/ Lab6 Source SEM 적용

 

제품사양

Gun Specification

Tip Source (Schottky FEG / LaB6 적용 가능)

최대 30KeV 가속전압에서의 영상 모니터링

Backscattered SE Image

 

Application

고배율의 바이오 시료 관찰

Flat Panel Display 영상 분석

Sub-Micron 시료 모나터링 관찰