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Compact SEM

모델명

시리즈

Compact SEM


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제품 상세 설명

AIS1800C
(Scanning Electron Microscope)

설명 : Tablet MINI SEM이 지니는 구조적 한계를 넘어선 세계 최고 성능의 Mini SEM — Academic Version I (Compact화된 Desk-Side Mini SEM 입니다).

기술 및 인증 : CE Certificates

 
 

COMPACT SEM AIS1800C

Tablet MINI SEM이 지니는 구조적 한계를 넘어선 세계 최고 성능의 Desk-Side Mini SEM

  • LOW KV 영상 구현
  • 수치감소기술 OPTIC
    디자인으로 분해능 개선
  • 최소의 설치 및 운용 공간으로 업무 효율 극대화

 

특징

1) Low KeV(from 0.6kV) 영상 구현 – without Coating
2) Tablet SEM의 단점인 내부 진동, 발열, EMI등 문제점 해결
3) 세계 최상의 분해능을 지닌 Mini-SEM 구현
4) 최소의 설치 및 운용 공간 – 540(W) X 570(D) X 1300(H)mm³
5) 강력한 분석 S/W 및 다양한 측정 Tool 탑재
6) 수차감소기술 적용 – For better resolution
7) ET-Type SE Detector (SE/BSE 영상모드)

 

제품사양

ELECTRON OPTIC SYSTEM
Resolution 4nm@SE Magnification 10X ~ 200,000X(Max.)
(Additional Digital Zoom 2X, 4X, 8X)
Accelerating Voltage 0.2kV ~ 20kV Image Shift 250μm (X,Y),
Image Rotation (360°)
Stage Motorization & Movement (X, Y, Z)mm Standard : 5-Axis Manual Stage
Option : 3-Axis[X, Y, R] Motorized
Stage : 50/60/45 mm
(Tilt 0° ~ 60°, Rotation 360°)
Option BSE, EDS, Cooling Stage 외

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