(주)새론테크놀로지
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Normal SEM
모델명
시리즈
Normal SEM
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제품 상세 설명
AIS2300C
(Scanning Electron Microscope)
설명 : AIS2300C는 제품기술력을 인정받아 NANO KOREA 조직위원회로부터 기술혁신상을 수상한 제품입니다.
기술 및 인증 : CE Certificates
NORMAL SEM AIS2300C
AIS2300C는 제품기술력을 인정받아 NANO KOREA 조직위원회로부터 기술혁신상을 수상한 제품입니다.
- 검증된 제품
안정성 및 재연성 - 업그레이드 된 스캔 스피드와 고해상도 제어구동부
- 세계 최고 수준 분석 S/W 및 다양한 측정 자동화 툴 탑재
특징
1) Low KeV(from 0.6kV) 영상 구현 – without Coating
2) Tablet SEM의 단점인 내부 진동, 발열, EMI등 문제점 해결
3) 세계 최상의 분해능을 지닌 Mini-SEM 구현
4) 최소의 설치 및 운용 공간 – 540(W) X 570(D) X 1300(H)mm³
5) 강력한 분석 S/W 및 다양한 측정 Tool 탑재
6) 수차감소기술 적용 – For better resolution
7) ET-Type SE Detector (SE/BSE 영상모드)
제품사양
| ELECTRON OPTIC SYSTEM | |||
| Resolution | 3nm@SE | Magnification | 10X ~ 1,000,000X(Max.) (Additional Digital Zoom 2X, 4X, 8X) |
| Accelerating Voltage | 0.2kV ~ 30kV | Electron Gun Type | Tungsten Hair-pin Filament |
| Stage Motorization & Movement (X, Y, Z)mm | 5-Axis tage[X, Y, Z] = 60/70/65mm Tilt 20° ~ 60°(Max.105°) Rotation 360° Endless (Option : Large Stage & Chamber) |
Optic Lens | Electromagnetic Lens System5-Axis tage[X, Y, Z] = 60/70/65mm Tilt 20° ~ 60°(Max.105°) Rotation 360° Endless (Option : Large Stage & Chamber) |