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Mask Aligner
모델명
MDA-150 (M)
시리즈
-
자료
-
구매정보
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마이다스시스템(주)

마스크 정렬 노광장치, 스핀코터장비 개발생산업체

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042-936-7620
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peter@aligner.co.kr
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제조사
마이다스시스템(주)[바로가기]
제품 타입
기계
브랜드
-
SKU
82201
제품명
Mask Aligner
모델명
MDA-150 (M)
사이즈
-
중량
-
제품 상세 정보

MDA-150(Mask Aligner) 은 사용자의 용도에 따라 여러 가지 타입의 장비를 선택할 수 있는 맞춤 제작이 가능한 특징을 가지고 있는 마스크 얼라이너로, 조각부터 최대 6인치 시료까지 공정이 가능하여, 주로 학교 연구실 및 연구소 또는 기업체의 준 양산 까지 포괄적인 사용이 가능합니다.

사양

Type Manual (Mask Aligner)
Mask size up to 7" x 7"
Substrate size piece to 6"
UV lamp & Power 500W, 1kW & Digital power supply
Uniform beam size 6.25" x 6.25
Beam Uniformity <±5%
Beam wavelength 350 ~ 450nm
365nm Intensity ~50mW/cm2
Alignment accuracy 1um
Process resolution 1um@1um PR thickness with vacuum contact
Process mode Soft, Hard, Vacuum contact & Proximity
Substrate chuck moving x,y,z & θ (motorized)
Options CCD BSA
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