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Mask Aligner
모델명
MDA-400S (MDA-400M-6)
시리즈
-
자료
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마이다스시스템(주)

마스크 정렬 노광장치, 스핀코터장비 개발생산업체

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042-936-7620
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제조사
마이다스시스템(주)[바로가기]
제품 타입
기계
브랜드
-
SKU
82199
제품명
Mask Aligner
모델명
MDA-400S (MDA-400M-6)
사이즈
-
중량
-
제품 상세 정보

MDA-400S(Mask Aligner) 는 합리적인 가격대 제품군으로 PC / PLC 제어방식의 레벨링 시스템이 적용된 마스크 얼라이너로써, 최대 6인치 시료까지 공정이 가능하고, 작은 사이즈에 방진메커니즘이 기본 장착 되어 있으며, 주로 학교, 연구소 용으로 적합합니다.

사양

Type PC / PLC control Manual (Mask Aligner)
Mask size up to 7" x 7"
Substrate size piece to 6"
UV lamp & Power 350W & power supply
Uniform beam size 6.25" x 6.25"
Beam Uniformity <±5%
Beam wavelength 350 ~ 450nm
365nm Intensity ~25mW/cm2
Alignment accuracy 1um
Process resolution 1um@1um PR thickness with vacuum contact
Process mode Soft, Hard, Vacuum contact & Proximity
Substrate chuck moving x,y,z & θ
Options Anti-Vibration table
IR BSA
UV Intensity meter
etc.
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