마이다스시스템(주)는 반도체, MEMS, 바이오 소자, 나노기술 관련 연구소 및 기업체에 필수적인 마스크 정렬 노광장치(Mask Aligner)와 스핀코터(Spin Coater) 장비를 개발 및 생산하는 전문 기업. 웨이퍼용 마스크 얼라이너를 국내 최초로 개발 및 상용화한 기술 중심 기업. 지속적인 기술 개발과 보완을 통해 산업 기반을 강화하는 중. 다양한 응용 분야에 적용 가능한 솔루션 제공으로 시장 경쟁력 확보.마이다스시스템(주)는반도체,MEMS,바이오소자,나노기술관련연구소및기업체에필수적인마스크정렬노광장치(MaskAligner)와스핀코터(SpinCoater)장비를개발및생산하는전문기업.웨이퍼용마스크얼라이너를국내최초로개발및상용화한기술중심기업.지속적인기술개발과보완을통해산업기반을강화하는중.다양한응용분야에적용가능한솔루션제공으로시장경쟁력확보.
대표 제품군/보유 기술대표제품군/보유기술
마스크 정렬 노광장치 (Mask Aligner): MD40FE, MDA-400LJ, MDA-400M, MDA-400S (MDA-400M-6), MDA-600S, MDA-150 (M), MDA-60MS, MDA-80MS, MDA-80SA, MDA-12SA, MDA-20000SA, MDA-40FA, MDA-60FA, MDA-80FA, MDA-12FA 모델 보유. MDA-400LJ는 터치 패널 제어, 프로그래머블 레시피 관리, 용이한 작동, 드레인 및 배기구 적용. MDA-400M은 매뉴얼 방식의 소형 장비로 조각부터 최대 4인치 시료 공정 가능. MDA-400S는 PC/PLC 제어 레벨링 시스템과 방진 메커니즘을 갖춘 6인치 시료 공정 가능 모델. MDA-600S는 Z-axis 모터 동작의 반자동 장비로 최대 6인치 시료 공정, 1um의 정렬 정확도, 0.8um의 공정 해상도 제공. MDA-80FA는 8인치(200mm) 기판용 완전 자동 마스크 얼라이너로 1000W UV 램프 광원, 높은 오버레이 정확도 및 자동 정렬 마크 검색 기능 포함.마스크정렬노광장치(MaskAligner):MD40FE,MDA-400LJ,MDA-400M,MDA-400S(MDA-400M-6),MDA-600S,MDA-150(M),MDA-60MS,MDA-80MS,MDA-80SA,MDA-12SA,MDA-20000SA,MDA-40FA,MDA-60FA,MDA-80FA,MDA-12FA모델보유.MDA-400LJ는터치패널제어,프로그래머블레시피관리,용이한작동,드레인및배기구적용.MDA-400M은매뉴얼방식의소형장비로조각부터최대4인치시료공정가능.MDA-400S는PC/PLC제어레벨링시스템과방진메커니즘을갖춘6인치시료공정가능모델.MDA-600S는Z-axis모터동작의반자동장비로최대6인치시료공정,1um의정렬정확도,0.8um의공정해상도제공.MDA-80FA는8인치(200mm)기판용완전자동마스크얼라이너로1000WUV램프광원,높은오버레이정확도및자동정렬마크검색기능포함.
스핀코터 (Spin Coater): Film type TSP aligner, Cell type TSP aligner, UV Lamp, Intensity meter, MINILAB 모델 보유. Spin-1200D 모델은 300~8000rpm의 척 회전 속도, 50단계 20개 레시피, 1~999초의 시간 설정, 8인치 볼 크기, 4인치 Si 웨이퍼까지 기판 처리 가능. Spin-1200T는 300~7,000rpm의 회전 속도와 DC 서보 모터를 특징으로 하는 모델. 터치 패널 제어, 프로그래머블 레시피 관리, 드레인 및 배기구 적용 등 사용자 편의성 기술 적용. UV Intensity Meter (365nm)와 같은 관련 기기 개발 및 생산.스핀코터(SpinCoater):FilmtypeTSPaligner,CelltypeTSPaligner,UVLamp,Intensitymeter,MINILAB모델보유.Spin-1200D모델은300~8000rpm의척회전속도,50단계20개레시피,1~999초의시간설정,8인치볼크기,4인치Si웨이퍼까지기판처리가능.Spin-1200T는300~7,000rpm의회전속도와DC서보모터를특징으로하는모델.터치패널제어,프로그래머블레시피관리,드레인및배기구적용등사용자편의성기술적용.UVIntensityMeter(365nm)와같은관련기기개발및생산.
경쟁 우위 포인트경쟁우위포인트
국내 최초 웨이퍼용 마스크 얼라이너 개발 및 상용화 경험을 통한 시장 선도적 위치 확보. 이는 국내 반도체 및 마이크로 소자 제조 분야에서 핵심 기술을 선점하는 중요한 경쟁 우위.국내최초웨이퍼용마스크얼라이너개발및상용화경험을통한시장선도적위치확보.이는국내반도체및마이크로소자제조분야에서핵심기술을선점하는중요한경쟁우위.
반도체, MEMS, 바이오 소자, 나노기술 등 광범위한 첨단 산업 분야에 적용 가능한 장비 개발 능력. 다양한 산업 요구에 부합하는 맞춤형 솔루션 제공 역량 보유.반도체,MEMS,바이오소자,나노기술등광범위한첨단산업분야에적용가능한장비개발능력.다양한산업요구에부합하는맞춤형솔루션제공역량보유.
고객의 특정 응용 분야에 최적화된 맞춤식 설계 및 생산 공급 시스템. 이는 고객 만족도 향상 및 장기적인 파트너십 구축에 기여하는 요소.고객의특정응용분야에최적화된맞춤식설계및생산공급시스템.이는고객만족도향상및장기적인파트너십구축에기여하는요소.
PC/PLC 제어, 터치 패널 제어, 프로그래머블 레시피 관리, 자동 정렬 마크 검색 기능 등 높은 수준의 자동화 및 사용자 편의성 기술 적용. 이를 통해 공정 효율성 및 생산성 극대화.PC/PLC제어,터치패널제어,프로그래머블레시피관리,자동정렬마크검색기능등높은수준의자동화및사용자편의성기술적용.이를통해공정효율성및생산성극대화.
1um의 높은 정렬 정확도와 0.8um의 미세 공정 해상도 등 뛰어난 기술 스펙. 이는 정밀한 미세 공정이 요구되는 반도체 및 나노기술 분야에서 핵심적인 기술 경쟁력.1um의높은정렬정확도와0.8um의미세공정해상도등뛰어난기술스펙.이는정밀한미세공정이요구되는반도체및나노기술분야에서핵심적인기술경쟁력.
마스크 얼라이너와 스핀코터뿐만 아니라 UV 램프, 인텐시티 미터 등 반도체 공정에 필요한 관련 기기를 통합적으로 공급하는 능력. 고객의 편의성을 증대시키고 원스톱 솔루션을 제공하는 강점.마스크얼라이너와스핀코터뿐만아니라UV램프,인텐시티미터등반도체공정에필요한관련기기를통합적으로공급하는능력.고객의편의성을증대시키고원스톱솔루션을제공하는강점.
적용 산업적용산업
반도체 연구 및 생산 산업 분야.반도체연구및생산산업분야.
MEMS(미세전자기계시스템) 공정 연구 및 응용 상품 생산 산업 분야.MEMS(미세전자기계시스템)공정연구및응용상품생산산업분야.
바이오칩 연구 및 나노기술 연구 분야.바이오칩연구및나노기술연구분야.
LED(발광 다이오드) 제조 산업 분야 (MDA-80FA 모델).LED(발광다이오드)제조산업분야(MDA-80FA모델).
학교 및 연구소의 교육 및 실험 환경 (MDA-400M, MDA-400S, MDA-600S 모델).학교및연구소의교육및실험환경(MDA-400M,MDA-400S,MDA-600S모델).
주요 시장주요시장
대한민국대한민국
유럽 (SPS-Europe을 통한 진출 가능성)유럽(SPS-Europe을통한진출가능성)
미국 (Silicon Valley Sales를 통한 진출 가능성)미국(SiliconValleySales를통한진출가능성)
인증/특허인증/특허
웨이퍼용 마스크 얼라이너 국내 최초 개발 및 상품화 기술력. 이는 해당 분야에서의 선도적인 기술 역량과 시장 개척 능력을 입증하는 요소.웨이퍼용마스크얼라이너국내최초개발및상품화기술력.이는해당분야에서의선도적인기술역량과시장개척능력을입증하는요소.
지속적인 기술 개발 및 보완을 통한 기술 중심 기업으로서의 기반 강화. 이는 혁신적인 제품 개발과 품질 향상에 대한 기업의 의지 반영.지속적인기술개발및보완을통한기술중심기업으로서의기반강화.이는혁신적인제품개발과품질향상에대한기업의의지반영.