Mask Aligner MDA-600S by 마이다스시스템(주) - 코머신 판매자 소개 및 제품 소개

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Mask Aligner

모델명

MDA-600S

시리즈

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구매정보

마이다스시스템(주)

마스크 정렬 노광장치, 스핀코터장비 개발생산업체

연락처

042-936-7620

이메일

peter@aligner.co.kr

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제조사

마이다스시스템(주)[바로가기]

제품 타입

기계

브랜드

SKU

82200

제품명

Mask Aligner

모델명

MDA-600S

사이즈

중량

제품 상세 정보

MDA-600S(Mask Aligner) 는 Z- axis 모션이 모터로 동작하는 반자동 장비 중 가장 컴팩트하고 가격이 경제적 이며, 최대 6인치 시료까지 공정이 가능합니다.
콤팩트한 장비 사이즈에 방진메커니즘이 기본장착 되어있어, 주로 학교 ,연구소 및 기업체의 준 양산 용으로 적합합니다.

사양

Type	PC control semi auto
Mask size	up to 7" x 7"
Substrate size	piece to 6"
UV lamp & Power	350W & power supply
Uniform beam size	6.25" x 6.25"
Beam Uniformity	<±4%
Beam wavelength	350 ~ 450nm
365nm Intensity	~25mW/cm2
Alignment accuracy	1um
Process resolution	0.8um@1um PR thickness with vacuum contact
Process mode	Soft, Hard, Vacuum contact & Proximity
Substrate chuck moving	x,y,z & θ
Options	Anti-Vibration table
	CCD BSA
	UV Intensity meter
	UV-LED(365nm) exposure module
	etc.