(주)씨엔원
Canisters
모델명
시리즈
Others
구매 안내
아래는 참고용 정보이므로 세부 조건은 반드시 제조사/판매자에게 문의 바랍니다.
결제 방법
제조사/판매자에게 문의 바랍니다.
납기 정보
제조사/판매자에게 문의 바랍니다.
배송 정보
제조사/판매자에게 문의 바랍니다.
원산지
제조사/판매자에게 문의 바랍니다.
제품 상세 설명
Canisters
CN1 supplies various types of canister which contains liquid chemicals for ALD- and CVD-related processes in semiconductor-based industries
Product information
Product type
Feature & Advantages
ㆍVolume : 1~200 liter
ㆍ316L stainless body with EP treatment
ㆍMaximum safety and cost efficient
ㆍHydraulic pressure : 300kPa
ㆍLeak rate : under 2.0×10-9 mbar·l/sec
19 liter DLI Canister
|
Class |
Specification |
|
Transfer type |
DLI(Direct Liquid Injector) for LDS |
|
Valve type |
1/4″ Pneumatic diaphragm valve |
|
Gasket |
Teflon or Metal |
|
Inlet/Outlet port |
1/4″ Male VCR |
|
Refill port |
1/4″ or 1/2″ Male VCR |
|
Purge valve |
Option |
|
Level sensor |
Option |