(주)씨엔원
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Atomic-Shell
모델명
시리즈
ALD
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제품 상세 설명
Rotating reactor ALD for shell coating on core structure
ㆍNano size powder coating system
ㆍReactor volume : > 100cc
ㆍFilter size : Variable(from 0.5µm~)
ㆍHorizontal rotation system
ㆍPrecursor canister : 4EA
ㆍProcess temperature : R.T. ~ 350°C (Reactor body : 230°C)
ㆍReactor rotation : DC Motor
ㆍRotation speed : 10 ~ 120rpm
ㆍBase pressure : under 20mTorr
ㆍApplication : Coating on particle, wire, tube, etc.